1 Ускоритель легких и тяжелых ионов, предназначенный для создания p-n-переходов и выращивания пленок методом ионно-лучевого осаждения низкоэнергетичных ионов.

2 Модернизированная установка магнетронного напыления МАГНА ТМ-29 для поточного осаждения медных контактных дорожек на поверхность партии кремниевых пластин («чистая комната Hi-Tech»).

3 Электронно-лучевая установка «ЭЛУ ТМ-5» для нанесения просветляющих покрытий на кремниевые солнечные элементы («чистая комната Hi-Tech»).

«Чистый коридор НОЦ АЭиН»

Ускоритель ионов

Магнетронная установка МАГНА ТМ-29

Электронно-лучевая установка ЭЛУ ТМ-5

 

4 Установки Lab Spinner Module SM-180-BT для осаждения фосфор- и бор-содержащих пленкообразующих растворов методом центрифугирования с целью создания p-n-переходов («чистая комната Hi-Tech»).

5 Модернизированная установка МАГНА ТМ-200-01 для осаждения наноструктур и диффузионных барьеров на кремниевые пластины поштучно методом магнетронного распыления («чистая комната Hi-Tech»).

6 Установка для плазменной обработки поверхности пластин.

Центрофуги

Высокочастотные магнетронные и ионные установки

 

7 Автоматическая установка ЭМ-5006А двухсторонней контактной фотолитографии с зазором на пластины кремния не менее 150 мм. Установки для нанесения, сушки и проявления фоторезиста, установка экспонирования и совмещения в технологии фотолитографии для формирования рисунка на поверхности кремниевой пластины («чистые помещения Hi-Tech» для фотолитографии).

8 Установки жидкостной химической обработки в диметилформамиде и в смеси Каро с подачей чистого воздуха с встроенными ваннами для снятия фоторезиста в технологии фотолитографии («чистые помещения Hi-Tech»).

9 Установка ДИОН-А003 для получения деионизованной воды класса A с удельным сопротивлением не менее 16 мегаом производства "АКВАРОС" («чистые помещения Hi-Tech»).

Помещение фотолитографии Hi-Tech

Микроскоп высокого разрешения  

Химическая лаборатория  

Установка деионизованной воды

 

10 Электропечь «Отжиг ТМ-4М» для пассивации поверхности кремния, термообработки пленок и формирования структур и характеристик («чистая комната Hi-Tech»). 

11 Электропечь AS-One 150 (Annealsys, France) для быстрого термического отжига до 1200°С («чистая комната Hi-Tech»).

12 Лазерная система прецизионной маркировки и резки пластин SharpMark Fiber Pro30.

 

Электропечь «Отжиг ТМ-4М»

Электропечь быстрого отжига (12000С)

Установка лазерного удаления закоротков

 

13 Ламинатор Pujol Lam Pro PV для ламинирования и капсуляции солнечных элементов («чистая комната Hi-Tech»).

14 Установка «Симулятор Солнца» - Pulsed Solar Simulator System, Berger Lichttechnik для определения характеристик солнечного модуля.

15 Установка Sun 3000 Solar Simulator для для определения характеристик солнечного элемента.

 

Ламинатор солнечных модулей. Конечная продукция КБТУ

Имитатор солнечных лучей

Измеритель КПД солнечных элементов

 

16 Многофункциональный рентгеновский комплекс ComplexRayC6 для определения толщины, плотности и шероховатости пленок контактной системы в диапазоне (2-400 нм).

17 Рентгеновская установка УРС для определения фазового состава тонких (< 100 нм) пленок  контактной системы фотографическим методом.

18 Прибор Рометр для измерения электросопротивления и прибор Тауметр 2М для измерения времени жизни неосновных носителей заряда кремниевых пластин.

 

Рентгеновский рефлектометр для измерения толщины и плотности наноплёнок

Рентгеновская установка для исследования структуры и фазового состава нанопленок

Установки для измерения удельного сопротивления и времени жизни неосновных носителей зарядов в полупроводниках

 

19 Инфракрасный ИК-Фурье спектрометр Nicolet iS50 FT-IR с рамановской приставкой для определения химического состава, структуры и оптических свойств пленок.

20 Люминесцентный спектрометр Lumina для определения люминесцентных свойств пленок в ультрафиолетовой, видимой и ближней инфракрасной области.

21 Спектрофотометр Evolution-300 для измерения прозрачности, коэффициентов отражения и поглощения пленок в ультрафиолетовой, видимой и ближней инфракрасной области.

 

Установки для измерения оптических свойств наноструктур (люминесценция, комбинационное рассеяние, ИК-спектроскопия, фотоспектроскопия)

Солнечный двусторонний модуль (продукция КБТУ)

 

22 Газовое хозяйство и баллоны, размещенные в специально оборудованных шкафах на территории Казахстанско-Британского технического университета и разветвленная система доставки всех видов газа в «чистые комнаты»

 

Газовое хозяйство и баллоны в шкафах

Система доставки всех видов газа

Система вентиляции с фильтрацией воздуха, созданная для чистоты технологического процесса